【新版】

多晶硅薄膜,多晶硅薄膜加工制造工艺方法图文全套

作者：admin 来源：金鼎工业资源网更新时间：2021/9/6

开本：16开
资料形式：DVD/U盘/电子版正文语种: 简体中文
可否打印：是装帧: 平装
分类：专业技术
咨询电话：028-87023516 (手机微信)18980857561 或18190762281
客服QQ1：853136199 客服QQ2：478224130
资料说明：资料都是电子文档PDF格式，可在电脑中阅读、放大缩小、打印，可以网传，也可以刻录在光盘或优盘中（加收40元）邮寄，如需纸质版客户可自行打印。资料具体内容包括技术开发单位信息、技术原理、技术原文，技术配方、工艺流程、制作方法，设备原理、机械设计构造、图纸等，是开发产品不可多得的专业参考资料。

订购请记住资料编号：GY10001-25762 资料价格:258元

1、一种多晶硅与碲化镉薄膜双结太阳能电池板及制备工艺

[简介]：一种多晶硅与碲化镉薄膜双结太阳能电池板及制备工艺，包括衬底，衬底上自下而上依次设有多晶硅掺杂层、透明导电氧化层、CdS膜层、CdTe膜层和背接触层，其制备方法为在衬底上通过低压气相沉积法依次沉积多晶硅掺杂层、透明导电...

2、一种多晶硅与碲化镉薄膜双结太阳能电池板及制备工艺

[简介]：本技术主要内容为一种碲锌镉多晶硅叠层薄膜太阳能电池，该太阳能电池可在廉价的玻璃或柔性衬底上制备具有叠层结构的，高光电转换效率的碲锌镉多晶硅叠层薄膜太阳能电池。其中一个子电池由n型CdS窗口层p型碲锌镉吸收层...

3、一种碲锌镉多晶硅叠层薄膜太阳能电池

[简介]：本套资料涉及低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法及利用该方法制备的低温多晶硅薄膜晶体管，在基板上生成缓冲层，图案化多晶硅层，对多晶硅层进行一定量的离子注入或者不注入以形成薄膜晶体管的沟道区；沉积栅极绝缘层，第一离子...

4、低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管

[简介]：本套资料公开一种多晶硅-碳化硅叠层薄膜太阳能电池，属太阳能电池技术领域。该太阳能电池由玻璃衬底或者不锈钢衬底，在该衬底上通过磁控溅射沉积的透明导电氧化物层以及通过热丝化学气相沉积方法制备的二个叠接的薄膜子太阳...

5、多晶硅—碳化硅叠层薄膜太阳能电池

[简介]：本套资料主要内容为一种多晶硅层的制作方法和多晶硅薄膜晶体管的制造方法，涉及显示领域，该方法形成的多晶硅层晶化率高、晶粒均匀、晶界缺陷少，从而可改善多晶硅薄膜晶体管的电学性能，提高多晶硅薄膜晶体管的可靠性。本套资料所述...

6、多晶硅层的制作方法和多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

[简介]：本套资料涉及显示面板制造领域，主要内容为一种低温多晶硅的制作方法，其包括：在衬底基板上沉积缓冲层；在所述缓冲层上沉积非晶硅层，在形成非晶硅层后进行高温处理；根据所述非晶硅层的厚度分布情况分为多个能量区进行激光退火处...

7、低温多晶硅的制作方法、低温多晶硅薄膜和薄膜晶体管

[简介]：一种制备半导体器件的方法，该方法包括如下步骤：在SiO2层上顺序沉积多晶硅层、WN层和W层；在W层上形成掩模图案；通过使用在W和WN之间具有高蚀刻选择比的第一蚀刻气体中的等离子体来选择性蚀刻W层，通过使用在WN和Si之间具有...

8、制备具有WWN多晶硅分层薄膜的半导体器件的方法

[简介]：主要内容为一种高能量、高重复率的工件表面加热方法和设备，所述工件表面加热方法和设备可以包括：脉冲XeF激光器，所述脉冲XeF激光器工作在4000Hz或高于4000Hz并在大约351nm的中心波长处产生激光输出光脉冲光束；光学系统，所述...

9、激光薄膜多晶硅退火光学系统

[简介]：主要内容为一种气体放电激光结晶化设备和方法，用来完成工件的膜中的晶体结构或取向的转换，其可以包括以主振荡器功率放大器MOPA或功率振荡器功率放大器配置的XeF激光系统，所述激光系统以高重复率和高功率产生具有脉冲对脉冲...

10、激光薄膜多晶硅退火系统

[简介]：本套资料主要内容为一种多晶硅薄膜电阻的测试方法，涉及半导体领域，可及时、准确地监测掺杂后的多晶硅薄膜电阻，能够降低生产损失，提高生产效率。所述方法，包括：提供基板和监控片；在所述基板和监控片上同步形成掺杂的多晶硅薄膜...

11、多晶硅阵列基板上多晶硅薄膜电阻的测试方法

[简介]：本套资料提供了一种半导体层结构、多晶硅薄膜晶体管、制作方法、显示装置，通过采用晶界连接线技术，即在多晶硅材质的半导体层中晶界位置处，形成用于连接晶界的微掺杂区，从而可减少多晶硅的晶界缺陷，提高了晶粒均匀性，改善了...

12、半导体层结构、多晶硅薄膜晶体管、制作方法、显示装置

[简介]：一种形成多晶硅层的方法，包括形成第一非晶硅层和形成第二非晶硅层，使得所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层具有彼此不同的膜性质；和用金属催化剂使所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层结晶，以形成第一多晶硅层和第二多...

13、形成多晶硅层的方法、薄膜晶体管和有机发光装置

[简介]：一种形成多晶硅层的方法，包括：在基板上形成非晶硅层；在所述非晶硅层上形成金属催化剂；在形成所述金属催化剂的所述非晶硅层的整个表面上形成吸杂金属层；以及执行热处理。一种薄膜晶体管包括所述多晶硅层，并且一种有机发...

14、形成多晶硅层的方法、薄膜晶体管和有机发光器件

[简介]：本套资料实施例提供了一种多晶硅薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板，涉及显示技术领域，可修复界面缺陷和多晶硅中的缺陷态，并且可改善热载流子效应，使得TFT的特性更稳定；该多晶硅薄膜晶体管包括栅电极、源电极、漏电极和有源...

15、一种多晶硅薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板

[简介]：本套资料主要内容为一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法，该低温多晶硅薄膜晶体管包括开关薄膜晶体管与驱动薄膜晶体管，该驱动薄膜晶体管的结构由下至上依次为缓冲层、多晶硅、栅极绝缘层、栅极、介电层与钝化层，并在介电层以及...

16、一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法

[简介]：本套资料主要内容为一种触媒法生产多晶硅和多晶硅薄膜的方法，一是将金属硅：金属铝的比例装入内胆为高纯氧化物坩埚或高纯石墨坩埚的熔化炉内，在真空或保护气氛下完全熔化，去除杂质磷；二是将熔体浇注至一定温度的高纯石英坩埚...

17、触媒法生产多晶硅和多晶硅薄膜的方法

[简介]：本套资料提供一种用于低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法，包括：形成多晶硅主动层，以便在基板上定义出多晶硅主动区；形成图案化的透明导电氧化物金属层，用以定义出漏极掺杂区与源极掺杂区；形成栅极金属层；采用离子植入制程，形...

18、一种用于低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法

[简介]：本套资料主要内容为形成多晶硅的方法、采用多晶硅的薄膜晶体管TFT以及制造TFT的方法。形成多晶硅的方法包括：在衬底上形成绝缘层；在绝缘层上形成第一电极和第二电极；在绝缘层上形成至少一个加热层以连接第一电极和第二电极；在...

19、形成多晶硅的方法和采用多晶硅的薄膜晶体管及其制法

[简介]：本套资料涉及一种多晶硅薄膜组件的制备方法，包括清洗玻璃基底，配置环境，以高纯镍和高纯硅分别作为靶材，预溅射以除去硅、镍靶材靶表面的杂质；再在适合环境下开始镀膜，镀膜过程中两靶分别控制实现共同溅射，靶和基底的距离为...

20、一种多晶硅薄膜组件的制备方法

[简介]：本套资料提供了一种制造多晶硅层的方法、一种使用该多晶硅层的薄膜晶体管、一种包括该多晶硅层的有机发光二极管显示装置及它们的制造方法。制造多晶硅层的方法包括：将缓冲层形成在基底上；将金属催化剂层形成在缓冲层上；使金...

21、形成多晶硅层的方法、薄膜晶体管、显示装置及制造方法

22、形成多晶硅层的方法、薄膜晶体管、显示装置及制造方法

23、基于多晶硅薄膜晶体管的场序彩色液晶显示器

24、低温多晶硅薄膜晶体管制造方法

25、多晶硅横向结晶方法以及应用其制造的多晶硅薄膜晶体管

26、低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

27、一种多晶硅纳米薄膜应变电阻的制作方法

28、一种搭桥晶粒多晶硅薄膜晶体管

29、搭桥晶粒多晶硅薄膜晶体管的制造方法

30、搭桥晶粒多晶硅薄膜晶体管

31、掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜晶体管

32、多晶硅薄膜晶体管的制备方法

33、一种低温多晶硅薄膜晶体管探测器

34、一种低温多晶硅薄膜晶体管探测器及其制备方法

35、一种用于薄膜晶体管的多晶硅激光退火方法

36、用原子层沉积的氧化铝作为栅介质的多晶硅薄膜晶体管

37、一种多晶硅薄膜晶体管

38、一种用晶核预控制激光晶化法制备多晶硅薄膜材料的方法

39、含有多晶硅有源层的薄膜晶体管、其制造方法及阵列基板

40、同时驱入镍和调整阈值电压的多晶硅薄膜晶体管的制法

41、可同时驱入镍和调整阈值电压的多晶硅薄膜晶体管

42、可同时驱入镍和调整阈值电压的多晶硅薄膜晶体管

43、低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制作方法

44、低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制作方法

45、含有多晶硅有源层的薄膜晶体管、其制造方法及阵列基板

46、一种用金属铜在低温下诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法

47、一种多晶硅薄膜晶体管

48、一种多晶硅薄膜晶体管

49、多晶硅薄膜晶体管

50、一种多晶硅薄膜晶体管的制备方法

51、多晶硅薄膜晶体管的制造方法

52、生产低温多晶硅薄膜晶体管的方法

53、一种低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板的制造方法

54、生产底部金属结晶化的低温多晶硅薄膜晶体管的方法

55、薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法

56、多晶硅薄膜及多晶硅栅极的形成方法

57、多晶硅的制法、薄膜晶体管及制法及有机发光二极管显示装置

58、用锡诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法

59、一种低温多晶硅薄膜材料的制造方法

60、一种多晶硅薄膜材料的制造方法

61、一种基于退火工艺的多晶硅薄膜材料的制造方法

62、一种基于退火工艺的多晶硅薄膜材料的制造方法

63、一种低温多晶硅薄膜材料

64、一种基于退火工艺的低温多晶硅薄膜材料的制造方法

65、晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置

66、晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置

67、多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法

68、非晶硅薄膜的晶化及多晶硅薄膜的制造方法和装置

69、可靠的具有减小的薄膜电阻的多晶硅-硅化物栅极叠层

70、低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法

71、形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法

72、形成多晶硅层以及制作多晶硅薄膜晶体管的方法

73、多晶硅薄膜晶体管

74、低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法

75、具有轻掺杂漏极区的多晶硅薄膜晶体管的制造方法

76、具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜晶体管

77、叠层储存电容器结构、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器

78、自缓释金属诱导晶化多晶硅薄膜材料的制备方法及应用

79、形成多晶硅层的方法以及制造多晶硅薄膜晶体管的方法

80、包括低温多晶硅薄膜晶体管的影像显示系统及其制造方法

81、用于使低温多晶硅薄膜面板平面化的多晶硅平面化溶液

82、用于使低温多晶硅薄膜面板平面化的多晶硅平面化溶液

83、制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管

84、使用搀杂物和具有受控晶体结构的多层硅薄膜来调整多晶硅薄膜和周围层的应力

85、多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

86、多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

87、使用固体激光器退火的多晶硅薄膜制备半导体器件的方法

88、多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

89、低温直接沉积多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

90、低温多晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法

91、多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶体管的制造方法

92、多晶硅层以及薄膜晶体管的制造方法

93、低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管

94、低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法

95、多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法

96、一种低温多晶硅薄膜的制作方法和低温多晶硅薄膜

97、高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法

98、低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法

99、多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置

100、薄膜晶体管的制造方法与修补多晶硅膜层之缺陷的方法

101、一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜

102、一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜

103、具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器

104、多晶硅薄膜晶体管的形成方法

105、多晶硅薄膜晶体管的制作方法

106、薄膜晶体管与多晶硅层的制造方法

107、包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法

108、多晶硅薄膜晶体管离子感测装置与制作方法

109、多晶硅薄膜及用非晶硅低温诱导制备多晶硅薄膜的方法

110、激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法

111、平坦多晶硅薄膜晶体管的制作方法

112、多晶硅薄膜晶体管制造方法

113、低温多晶硅薄膜晶体管基板

114、低温多晶硅薄膜晶体管

115、低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

116、低温多晶硅薄膜晶体管

117、包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法

118、低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法

119、半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

120、多栅双沟道结构的多晶硅薄膜晶体管

121、底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法

122、底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法

123、应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法

124、多晶硅结晶方法、薄膜晶体管及其液晶显示器的制造方法

125、具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置

126、具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置

127、多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法

128、多晶硅薄膜晶体管离子注入机

129、制造具有低温多晶硅的顶栅型薄膜晶体管的方法

130、低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法

131、形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法

132、具多个共通电压驱动电路的多晶硅薄膜晶体管液晶显示器

133、多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法

134、低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法

135、薄膜晶体管的多晶硅制造方法

136、低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法

137、低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

138、多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

139、硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜

140、低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法

141、薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器

142、薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器

143、薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器

144、薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器

145、一种基于金属诱导的多晶硅薄膜的制备方法

146、一种制备多晶硅薄膜的方法

147、一种改进的多晶硅薄膜的制备方法

148、轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法

149、评定多晶硅的方法和系统及制造薄膜晶体管的方法和系统

150、利用多晶硅的薄膜晶体管制造方法

151、用于结晶多晶硅的掩膜及利用该掩膜形成薄膜晶体管的方法

152、多晶硅薄膜电池片的生产工艺

153、真空蒸镀太阳能电池用多晶硅薄膜及制备工艺

154、液晶显示器的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

155、一种多晶硅薄膜

156、一种低温多晶硅薄膜的制作方法

157、多晶硅薄膜

158、多晶硅薄膜的制备方法

159、一种掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜

160、一种多晶硅薄膜的制造方法

161、多晶硅薄膜

162、多晶硅薄膜

163、一种多晶硅薄膜的制备方法

164、低温多晶硅薄膜制备方法、薄膜晶体管及其制备方法

165、一种制备多晶硅薄膜的方法

166、一种用于制备多晶硅薄膜的多层膜结构

167、一种制备具有多晶硅薄膜的多层膜结构的方法

168、一种用于制备多晶硅薄膜的多层膜结构

169、一种提高多晶硅薄膜电阻稳定性的方法

170、一种用于可调控地制备多晶硅薄膜的多层膜结构

171、多晶硅薄膜低温物理气相沉积装置及其方法

172、基于横向诱导晶化多晶硅薄膜的薄膜晶体管的制备方法

173、一种采用背面保温层技术激光晶化多晶硅薄膜的方法

174、一种横向诱导晶化低温多晶硅薄膜的方法

175、一种用于横向诱导晶化低温多晶硅薄膜的多层膜结构

176、超细晶粒多晶硅薄膜的气相沉积方法

177、制造多晶硅薄膜的方法

178、一种基于金属诱导的多晶硅薄膜

179、一种基于金属诱导的多晶硅薄膜的制备方法

180、一种氢等离子体氛围中铝诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法

181、在玻璃衬底上制备P型多晶硅薄膜的方法

当前第1页
1 2

本套资料共包括297项技术资料，由于篇幅限制未能完整列出，请点击下载完整目录

马上订购

联系客服